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本发明公开一种高密度倒装焊器件可靠性评价方法,分析凸点制备工艺、芯片倒装焊工艺和底部填充工艺缺陷造成的可靠性问题,根据不同工艺缺陷造成的可靠性问题,建立对倒装焊器件进行可靠性评价的指标体系,所述指标体系包括凸点共面性、凸点空洞率、凸点强度、倒装焊点空洞和偏移、倒装焊点强度、底部填充空洞率;根据每一个指标的特征确定相应的检测方法、试验条件和判据,所述检测方法包括凸点共面性检测、X射线检测、凸点剪切力测试、倒装芯片拉脱检测、键合强度检测、超声检测;从而设计检测试验,完成对高密度倒装焊器件的可靠性评价
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117849581A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202311786964.9G01N29/04(2006.01)
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