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本实用新型提供一种风刀装置及插片机,通过利用风机提供压力气流以减少空气压缩机频繁启动以及压缩气体传输过程中造成的能耗浪费,降低生产成本。风刀装置包括:风机;供气管路,所述供气管路的第一端与所述风机的出风口连通;至少两个吹气喷嘴,所有所述吹气喷嘴连接于所述供气管路的第二端,至少一个所述吹气喷嘴位于硅片的上方。利用风机对吹气喷嘴提供压力空气,在保证对硅片上的液体进行可靠清理的前提下,避免空气压缩机频繁启停,从而有效的减少能耗;将风机设置在吹气喷嘴的附近,尽可能的减少压力空气的传输距离,有效的避免了现
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220750734U
(45)授权公告日2024.04.09
(21)申请号202321666284.9
(22)申请日2023.06.28
(73)专利权人盐城高测新能源科技有限公司
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