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本发明涉及一种设有垂直耦合结构的光波导板及垂直耦合结构的制作方法，光波导板上设置有垂直耦合结构和波导通道，垂直耦合结构设置在波导通道处；所述的垂直耦合结构包括矩形槽和旋涂在矩形槽中具有斜面或凹面的光敏材料，斜面或凹面与波导通道对应，且斜面或凹面能使光波导垂直转向，斜面或凹面上还镀有金膜或介质高反膜，矩形槽中还旋涂有树脂材料。本发明通过在玻璃基波导板上开矩形槽，并在矩形槽中旋涂光敏材料，利用激光刻蚀或灰度光刻的方法在矩形槽中得到了能使光波导垂直转向的斜面镜或凹面镜，通过在斜面或凹面上镀金膜或介质高
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117849944A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202311658616.3G02B6/26(2006.01)
(22)申请日2023.12.0
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