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本发明公开了一种纳米石墨铜材料的制备方法，将铜材作为基材并选取高纯度石墨靶材；将基材分别放入乙醇、丙酮和去离子水中通过超声波先清洗20min，接着在60℃温度下烘干，最后将其冷却收卷；将基材置于真空腔中，待真空腔中的真空度达到5‑3‑20‑3pa时，先通入一定量的Ar气，使真空腔内的压力为1‑2Pa，在偏压幅值为400‑600V、占空比为30‑60％的条件下，用Ar等离子体溅射基材表面10‑30min，从而去除表面的氧化层；将石墨靶材做为碳源，并通过一对孪生交流对钯和一个直流靶材由非平衡磁控溅射
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117845163A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202311704116.9
(22)申请日2023.12.12
(71)申请人隆扬电子（昆山）股份有限公司
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