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本发明涉及氢气传感检测技术领域，且公开了一种双功能氢气传感器及其制备方法和使用方法，包括传感器本体，所述传感器本体包括有衬底、悬膜、测温单元、热导单元、氢传感单元和硅杯腔。该双功能氢气传感器及其制备方法和使用方法，本发明氢气传感器的为冗余工作方式，具有显著增强的可靠性；本发明氢气传感器的带内参比结构的“WheatstoneBridge”模式，2倍灵敏度；本发明氢气传感器兼具快速和准确检测特点，可显著的缩短检测时间至3s以内，满足氢能安全的氢气泄露监测需求；本发明氢气传感器工作时不要氧气参与，在
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117849133A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202410055983.2
(22)申请日2024.01.15
(71)申请人深圳市鹏翔半导体
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