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基于干涉仪测量的库德光路指示光轴引出方法.pdfVIP

基于干涉仪测量的库德光路指示光轴引出方法.pdf

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    本发明公开了一种基于干涉仪测量的库德光路指示光轴引出方法。主要步骤有：(1)干涉仪发射平行光通过分光棱镜1反射入射到分光镜2，由分光棱镜2反射到一级缩束镜组进而入射到主系统经过标准平面镜自准直返回。调整分光棱镜1、分光棱镜2以及干涉仪位置，使得光束位于靶标中心且系统波像差最小，条纹最少，即可认定此时干涉仪光轴位置即为光学系统光轴。(2)当平面波干涉仪放置在光轴位置时，在分光棱镜2与一级缩束镜组之间加入反射平面镜，调整反射平面镜直至光束经过平面反射镜自准直返回平面波干涉仪。(3)安装指示激光器，使

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117850030A

    (43)申请公布日2024.04.09

    (21)申请号202410022530.X

    (22)申请日2024.01.08

    (71)申请人中科院南京耐尔思光电仪器有限公

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