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汇报人：小无名16微机电系统技术基础课件

目录CONTENTS微机电系统概述微传感器与执行器技术微加工技术与方法微装配与封装技术微机电系统测试与评价方法微机电系统应用实例分析

01微机电系统概述

定义微机电系统（MEMS）是一种基于微米/纳米级加工技术制造的小型化、集成化、智能化的系统，融合了微电子、微机械、微光学等多个领域的技术。发展历程自20世纪80年代起，随着微电子技术的快速发展和微纳加工技术的不断进步，MEMS技术逐渐兴起并得到广泛应用。经历了从单一器件到复杂系统的发展过程，目前已成为现代科技领域的重要分支。定义与发展历程

应用领域MEMS技术广泛应用于传感器、执行器、微流控、光学器件