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本发明公开一种梯度应变隔离的可拉伸衬底，涉及集成电路领域，包括：弹性体聚合物薄膜；弹性体聚合物薄膜用于渗入液体有机小分子单体、交联剂、光引发剂混合溶液形成混合膜层，并经第一掩膜版激光曝光形成可拉伸衬底；其中，混合膜层被照射部分的混合溶液中的小分子单体形成交联网络而发生与激光照射强度相对应的固化；第一掩膜版包括高透光率区、过渡区和低透光率区，高透光率区所形成的交联网络密度最高，低透光率区所形成的交联网络密度最低，过渡区所形成的交联网络密度位于二者之间，且在过渡区的掩膜区域透光率呈梯度变化而使曝光后
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117855148A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202410026149.0B23K26/53(2014.01)
(22)申请日2024.01.
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