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本发明涉及真空设备技术领域，其目的是提供一种分子泵。这种分子泵可对气体进行选择性压缩，能筛选出所需特定气体。上述分子泵包括：分子泵泵体和渗透膜，且分子泵泵体具有进气口和排气口；分子泵泵体内部设置有叶片级，渗透膜设置于叶片级与分子泵泵体内壁之间；或分子泵泵体内部设置有拖动级，渗透膜设置于拖动级与分子泵泵体内壁之间；或分子泵泵体内部设置有叶片级和拖动级，叶片级靠近进气口一侧，拖动级靠近排气口一侧，渗透膜设置于叶片级与分子泵泵体内壁以及拖动级与分子泵泵体内壁之间。本发明解决了现有技术中的分子泵无法对气
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117846985A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202311798671.2
(22)申请日2023.12.25
(71)申请人北京中科科仪股份有限公司
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