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《外延薄膜中的缺陷》课件.pptxVIP

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  • 2024-04-13 发布于四川
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《外延薄膜中的缺陷》课件.pptx

    《外延薄膜中的缺陷》PPT课件;目录;01;;外延技术简介;外延薄膜生长过程;指的是晶格中的原子缺陷;缺陷分析与控制;02;;氮化物外延薄膜中的氮空位缺陷;磷空位会导致晶格畸变，影响材料的稳定性;;总结;03;;点缺陷演变为线缺陷的机制;受损程度;;总结;04;;外延薄膜中的堆垛错配;外延薄膜中的表面粗糙度;;;总结;05;;扫描电镜分析;分析外延薄膜中的晶体质量;;总结;06;;未来发展方向;结语;外延薄膜制备过程;用于生长单晶薄膜;;;

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