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单晶SiC超精密加工研究进展.pdfVIP

单晶SiC超精密加工研究进展.pdf

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    第卷第期微纳电子技术

    611Vol.61No.1

    年月

    20241MicronanoelectronicTechnoloJanuar2024

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    DOI10.13250.cnki.wndz

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    引用格式田壮智班新星韩少星等单晶超精密加工研究进展微纳电子技术

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