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本申请实施例提供了一种薄膜晶体管及其制备方法、一种阵列基板及一种显示面板。薄膜晶体管包括导电功能层,导电功能层用于吸附薄膜晶体管中的氢原子。通过在薄膜晶体管中设置用于吸附氢原子导电功能层,从而可以俘获后续膜层沉积工艺中解离出来的氢原子,有效阻挡氢原子扩散至有源层内,以提升器件性能。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117878161A
(43)申请公布日2024.04.12
(21)申请号202311780255.X
(22)申请日2023.12.21
(71)申请人东莞市中镓半导体科技有限公司
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