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一种氮化铝晶片的批量式热掺杂装置及掺杂工艺.pdfVIP

一种氮化铝晶片的批量式热掺杂装置及掺杂工艺.pdf

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    本发明公开了一种氮化铝晶片批量式热掺杂装置，包括掺杂容器、容器盖、旋转支架、晶片载盘及紫外辐照系统。晶片载盘用于夹持氮化铝晶片并置于旋转支架上；旋转支架带动晶片载盘旋转。晶片载盘通过通孔暴露晶片的正反面于掺杂气氛中。紫外辐照系统包括的紫外光通过容器盖上的窗口片，辐照到氮化铝晶片表面。本发明还公开了使用该装置的工艺，晶片载盘旋转，完成晶片正背面均匀掺杂；同步对晶片进行紫外辐照。本发明可以实现批量式氮化铝晶片的同时掺杂，且旋转载盘的结构使得氮化铝晶片正反面均得到充分掺杂；而紫外照射，能够抑制载流子的

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117867660A

    (43)申请公布日2024.04.12

    (21)申请号202311768840.8

    (22)申请日2023.12.21

    (71)申请人奥趋光电技术（杭

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