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2024-04-13 发布于四川
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本申请涉及半导体生产辅助工具技术领域，具体公开了一种用于放置石英管的装置，包括：底板、支撑板与多个挂块；所述支撑板与所述底板组成可折叠结构；所述支撑板上贯穿设置有多个卡孔；在所述可折叠结构伸展状态下，所述挂块可拆卸卡接于所述卡孔上，且所述挂块的两端均伸出所述支撑板外；所述挂块的两端均设置有用于放置石英管的挂口。本方案中支撑板与底板组成可折叠结构，从而在不使用时可以折叠收纳，节省其占用的空间；在使用时，挂块卡接卡孔后，挂块两端均设置有挂口，从而相比于现有的石英管放置架可以有效增加石英管的放置量，解

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220765131U

(45)授权公告日2024.04.12

(21)申请号202322356852.1

(22)申请日2023.08.31

(73)专利权人安徽光智科技有限公司

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