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2024-04-13 发布于四川
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本发明公开了一种桥式连接体声波谐振器、制造方法及通信设备，属于半导体器件技术领域。其中体声波谐振器包括：衬底、支撑层和设置在支撑层上的至少两个谐振结构，衬底与谐振结构之间设有反射界面；谐振结构自下而上依次为底电极、压电层和顶电极，所有的谐振结构的底电极相连接，所有的谐振结构的顶电极相连接，且电极两侧边缘设置有负载结构、凹槽、悬臂或者桥式结构中至少一种结构。本发明通过拆分谐振器并用桥式结构相连，在电极上设置微结构，有效反射横波改善损耗，提升器件Q值。同时，拆分面积可有效解决由于薄膜面积大带来的薄膜

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117879535A

(43)申请公布日2024.04.12

(21)申请号202410274435.9H03H9/02(2006.01)

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