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本实用新型提供了一种抛光头用支撑垫的加工装置，所述加工装置包括由上至下依次同心设置的上底板、上压板、下压板和下底板；所述上底板和下底板的形状均为矩形；所述上压板和下压板的形状均为圆形；所述上底板和下底板之间通过弹簧导柱连接；所述上压板的下底面设置有圆柱形冲压刀具；所述下压板的上底面设置有容纳冲压刀具的凹槽。本实用新型提供的加工装置能够避免飞边和毛刺产生，降低晶圆研磨时被刮伤的风险，提高支撑垫上孔的位置准确性和尺寸准确性。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220762887U
(45)授权公告日2024.04.12
(21)申请号202322206839.8
(22)申请日2023.08.16
(73)专利权人宁波润平电子材料有限公司
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