一种防渗漏炼金石墨坩埚生产用气相沉积工艺及装置.pdfVIP

下载本文档

1
0
约1.32万字
约 18页
2024-04-13 发布于四川
举报
版权申诉

一种防渗漏炼金石墨坩埚生产用气相沉积工艺及装置.pdf

1、本文档共18页，其中可免费阅读17页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种防渗漏炼金石墨坩埚生产用气相沉积工艺及装置，属于气相沉积技术领域，装置包括外壳，外壳的上方和下方分别转动安装有上安装板和下安装板，上安装板与下安装板固定安装在中间立柱上，中间立柱的轴线方向上设置有多组支管，每一组支管在中间立柱的圆周方向均匀分布，支管上设置有出气孔，每一个支管两侧均设置有夹持驱动组件和转动驱动组件，用于驱动坩埚在每个支管外侧转动，以此实现均匀沉积，外壳上设置有输送组件，输送组件用于将坩埚放置在支管的外侧；通过本发明提出的工艺使得气相沉积效果更加均匀。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117867466A

(43)申请公布日2024.04.12

(21)申请号202410269716.5

(22)申请日2024.03.11

(71)申请人吉林科工碳业有限公司

地址13

您可能关注的文档

文档评论（0）

知识产权出版社 + 关注: 官方认证

文档贡献者

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

咨询Ta 进入空间

用户编号：5333241143000144

认证主体北京中献电子技术开发有限公司

IP属地四川

统一社会信用代码/组织机构代码: 91110108102011667U

1亿VIP精品文档

更多 >

一种防渗漏炼金石墨坩埚生产用气相沉积工艺及装置.pdfVIP