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2024-04-13 发布于四川
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本实用新型公开了一种检测装置，包括连接在切割设备上的检测组件和绕设于切割机构上的检测线材，检测组件包括可相对于切割设备移动的滑动部，滑动部的滑动方向与切割设备上的晶棒基准固定方向平行，检测线材的绕设方向与切割机构上预设切割线绕设方向相平行，滑动部上设置有检测件，检测件可随滑动部移动位置，以测量检测线材上的至少两个不同位置的点之间，在垂直于晶棒基准固定方向上的距离；同时公开了一种检测系统。本实用新型的检测装置及系统大大提高了检测精度和检测结果的准确性，降低了偶发错误的概率，检测过程便于操作和观察，

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220763120U

(45)授权公告日2024.04.12

(21)申请号202321741686.0

(22)申请日2023.07.04

(73)专利权人青岛高测科技股份有限公司

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