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本申请涉及芯片测试技术领域，公开一种用于测量芯片内电容的装置，包括ATE，ATE包括测试芯片接口，ATE还包括：充电电路，与测试芯片接口连接，用于产生流向测试芯片中电容的充电电流；检测电路，与测试芯片接口连接，用于检测测试芯片中电容的电容电压，并输出检测结果；其中，检测结果包括电容电压达到目标电压的充电时长；主控单元，分别与检测电路和充电电路连接，用于控制充电电路产生充电电流向测试芯片中的电容充电，并根据所述目标电压、所述充电时长以及所述充电电流确定电容值。主控单元可以根据电容电压达到目标电压时
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117871961A
(43)申请公布日2024.04.12
(21)申请号202410048738.9
(22)申请日2024.01.12
(71)申请人福建利利普光电科技有限公司
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