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本实用新型属于光学辅助设备技术领域，具体涉及一种电子显微镜清洗设备；其包括真空泵以及供电设备；所述真空泵与电子光学配件连通；所述供电设备的两个电极端分别与所述电子光学配件以及所述电子光学配件内部的待清洗组件电连接。本申请提供的电子显微镜清洗设备中供电设备的两个电极端分别与电子光学配件以及所述电子光学配件内部的待清洗组件电连接，且通过真空泵调整电子光学配件内部的真空度，供电设备的两个电极端在一定的真空情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，该等离子体轰击待清洗组件的表面，以达到清洗目的，使得电子显微
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220760367U
(45)授权公告日2024.04.12
(21)申请号202322259659.6
(22)申请日2023.08.22
(73)专利权人大束科技（北京）有限责任公司
地
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