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本发明提供了一种具有有源屏蔽电路的静电传感器装置，属于静电传感器技术领域，包括有源屏蔽探测电极、三轴线缆以及信号处理单元；有源屏蔽探测电极包括探测电极片、绝缘层、有源屏蔽电极片和接地电极片；三轴线缆包括芯线、内屏蔽层和外屏蔽层，芯线的一端与探测电极片连接，芯线的另一端与信号处理单元连接；内屏蔽层的一端与有源屏蔽电极片连接，内屏蔽层的另一端与信号处理单元连接，外屏蔽层接地。本装置显著降低了探测电极片和接地电极片之间的寄生电容，提高了静电传感器装置的灵敏度，提高静电传感器测量准确度；降低有源屏蔽电极
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117871971A
(43)申请公布日2024.04.12
(21)申请号202311515426.6
(22)申请日2023.11.15
(71)申请人北京航天万源科技有限公司
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