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2024-04-13 发布于四川
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本实用新型涉及限位机构的技术领域，特别是涉及一种晶圆机械臂限位机构，其便于对机械臂水平旋转的角度限位，便于对机械臂水平横向移动限位，提高对机械臂不同移动时限位使用便利性；包括壳体和转盘，转盘旋转安装在壳体顶端；还包括驱动装置、导向装置、移动装置、机械臂、限位杆和第一接近传感器，壳体内设置有驱动装置，驱动装置用于带动转盘旋转，机械臂安装在转盘顶端，限位杆安装在转盘外侧壁上，壳体上设置有导向装置，两组第一接近传感器分别滑动安装在导向装置两侧，导向装置用于对两组第一接近传感器的滑动进行导向和定位，壳体

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220762626U

(45)授权公告日2024.04.12

(21)申请号202322465636.0

(22)申请日2023.09.12

(73)专利权人众芯联达半导体科技（大连）有限

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