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本实用新型公开了一种工艺载具及硼扩散设备。其包括支撑件和支撑杆，至少三个支撑杆设置于相邻的两个支撑件之间以限定出放置空间，工艺载具具有至少一个放置空间，放置空间内能够排列放置硅片。支撑件具有承重曲面，承重曲面的直径与炉管的内径相同，且当工艺载具置于炉管内时，承重曲面贴合抵接于炉管的内壁，能够形成面接触，从而将工艺载具以及硅片的重量通过每个支撑件的承重曲面均匀地施加于炉管的内壁，既能够防止炉管的局部破碎，也能够避免工艺载具及硅片发生倾倒，降低了实现软着陆工艺的难度，提高了炉内的温度和气流的均匀性，
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220774314U
(45)授权公告日2024.04.12
(21)申请号202322346278.1
(22)申请日2023.08.30
(73)专利权人拉普拉斯新能源
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