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本实用新型提供一种载台机构及激光辅助键合系统，载台机构用于激光辅助键合设备，载台机构中设置有固定装置、温控装置和旋转装置，固定装置用于固定载板和芯片，温控装置位于固定装置下并调整固定装置的温度，旋转装置用于调整芯片的位置。通过载台机构对激光辅助键合工艺中的芯片和载板进行固定、调整位置和加热以达到辅助芯片与载板键合的目的，以及键合完成后的对固定装置进行冷却。进一步的，冷却部设置有冷却部连接板，用于调节冷却部和加热部之间的贴合度。通过在冷却部连接板上开槽降低冷却部连接板并增加冷却部连接板的弹性，冷却
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220774287U
(45)授权公告日2024.04.12
(21)申请号202322350254.3
(22)申请日2023.08.30
(73)专利权人上海光键半导体设备有限公司
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