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基于三蝶烯的多硫鎓盐单分子树脂光刻胶及其制备方法.pdfVIP

基于三蝶烯的多硫鎓盐单分子树脂光刻胶及其制备方法.pdf

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    本发明提供一类式I所示基于三蝶烯的多硫鎓盐单分子树脂光刻胶及其制备方法和应用。本发明式I所示化合物以三蝶烯和苯环为基本单元，最大限度地提高了其作为主体材料的抗刻蚀性能，同时提高了其热稳定性、溶解性和成膜性，综合性能大大提高，所述主体材料的热分解温度大于250℃，其热稳定性相对于现有的三蝶烯结构显著提升，扩大了材料的应用范围，适合光刻加工工艺的要求。。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117865866A

    (43)申请公布日2024.04.12

    (21)申请号202410074450.9

    (22)申请日2024.01.18

    (71)申请人中国科学院理化技术研究所

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