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2024-04-13 发布于四川
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用于确定样品高度信息的方法以及扫描显微镜.pdf

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本发明涉及用于确定样品的高度信息的方法，以及一种扫描显微镜。所述方法包括以下步骤：生成照明点；使用所述照明点照射所述样品；捕获所述样品上的所述照明点的反射图像；评估所述图像的横向分布；根据所述横向分布确定所述高度信息；其中，所述照明点具有三维照明图案和/或探测光路中的图像具有三维探测图案。所述扫描显微镜的特征在于照明装置(07)和/或探测器装置包括用于生成三维图案的构件，所述三维图案具有在沿所述光学轴不对称的所述横向强度分布的变化；且所述评估装置配置成根据所述探测器信号确定高度信息。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117870555A

(43)申请公布日2024.04.12

(21)申请号202311840490.1G06T7/62(2017.01)

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