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本实用新型公开了一种新型8寸晶圆用研磨机,涉及研磨机技术领域,包括底板,所述底板的顶端固定连接有支架,所述支架的底端固定连接有液压杆,所述液压杆的底端固定连接有电机,所述电机的输出端固定连接有旋转杆,所述旋转杆的底端固定连接有安装板,本实用新型通过设置卡块和紧固块,当打磨头需要更换时,首先拉动手柄,通过手柄拉动推块克服弹簧的弹力,由于滑块和受力块的接触面呈倾斜状,所以滑块的上下移动可以带动受力块左右移动,通过连接块,使受力块在移动的同时能够推动连接块和紧固块进行同方向的移动,当紧固块远离卡块的两
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220761977U
(45)授权公告日2024.04.12
(21)申请号202321819870.2
(22)申请日2023.07.12
(73)专利权人无锡市稳芯电子科技有限公司
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