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本实用新型涉及晶圆加工的技术领域，特别是涉及一种晶圆机械臂用承载机构，其提高移动时的稳定性，避免发生碰撞，导致晶圆脱落，提高适用性，能够对晶圆保护，防止夹持臂对晶圆外缘造成磨损；包括C型承载框和连接头，C型承载框的左侧壁上安装有连接头，连接头上设置有键槽，与机械臂连接；还包括防护机构、转动机构、夹持机构和缓冲组件，防护机构安装在C型承载框的前后两端，所述防护机构包括多个阻尼杆、多个缓冲弹簧和两个防护板，转动机构安装在C型承载框的内壁，所述转动机构包括伺服电机、转框和转座，夹持机构安装在转动机构上
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220762675U
(45)授权公告日2024.04.12
(21)申请号202322504451.6
(22)申请日2023.09.15
(73)专利权人众芯联达半导体科技（大连）有限
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