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本实用新型涉及一种半导体刻蚀夹具，包括夹具座，所述夹具座内底壁设有主夹紧机构，所述夹具座的上表面放置有第一刻蚀板，所述第一刻蚀板的上表面放置有第二刻蚀板，所述夹具座的上表面设有副夹紧机构，所述第一刻蚀板的上表面开设有刻蚀槽，所述第二刻蚀板的上表面开设有进液孔。该半导体刻蚀夹具，通过设置驱动电机、轴杆、主皮带轮、副皮带轮、螺纹杆a、螺纹筒、活动板和U形杆，实现了从左右两侧对第一刻蚀板和第二刻蚀板的固定，解决了在对半导体晶圆进行刻蚀时需要高速转动，而紧固件的固定效果并不好，半导体晶圆旋转时产生的离心
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220774336U
(45)授权公告日2024.04.12
(21)申请号202322437082.3
(22)申请日2023.09.08
(73)专利权人苏州迈克希自动化科技有限公司
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