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本实用新型提供了一种用于半导体装置的落地维护挡板，通过设置落地的维护挡板，并设置落地维护挡板包括N个折叠板，以及设置在所述N个折叠板的底部的移动轮，N为正整数；所述N个折叠板拼接式相连接；当半导体装置需要维护时，所述落地维护挡板中的N个折叠板处于展开状态并包围在所述半导体装置的周围；当半导体装置不需要维护时，所述落地维护挡板中的N个折叠板处于折叠状态，维护挡板不仅不会占用天花板空间，还能够通过移动轮进行远距离移动，不仅能够适用于小范围内的半导体装置的维护使用，还能够覆盖多个区域的半导体设备的维护
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220774304U
(45)授权公告日2024.04.12
(21)申请号202322449633.8
(22)申请日2023.09.08
(73)专利权人芯恩（青岛）集成电路有限公司
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