原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型涉及一种激光加工设备及晶圆生产线，通过激光装置适于对晶圆进行激光加工；激光装置设置在上料装置上料方向的尾端，及下料装置下料方向的首端；上料装置适于为激光装置传送工件；下料装置适于传送经过激光装置加工后的工件；激光装置包括至少两个激光器，一个激光器对应于一个工件，激光器适于发射激光至位于其下方的工件上；实现了通过设置了工件运输直流流道和激光加工工位转盘两种相结合的传输方式，既能一定程度减少晶圆被频繁吸附，容易造成隐裂、缺角等物理伤害，又结合了直流流道稳定、高速、惯性小的优点，将转盘加工和
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220761339U
(45)授权公告日2024.04.12
(21)申请号202321515531.5
(22)申请日2023.06.14
(73)专利权人常州捷佳创智能装备有限公司
地址
文档评论（0）