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本申请提出一种板件真空吸附压紧载台,所述板件真空吸附压紧载台包括:真空吸附载台,顶部设有多个吸风口;第一压紧组件,设于所述真空吸附载台的相对两侧,所述第一压紧组件包括第一转轴以及与所述第一转轴固定的第一压板;第二压紧组件,包括第二转轴以及与所述第二转轴固定的第二压板,所述第二转轴的轴向与所述第一转轴的轴向垂直。在本申请中,通过在真空吸附载台上设置两组第一压紧组件及两组第二压紧组件,能够使得板件的周边能够得以固定,以避免板件的周边发生形变翘曲。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220761420U
(45)授权公告日2024.04.12
(21)申请号202322479709.1
(22)申请日2023.09.12
(73)专利权人深圳市青虹激光科技有限公司
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