特殊气体配管工作程序.docVIP

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特殊气体配管工作程序及配管工程测试

标准作业程序

供输半导体及特殊气体之配管工作程序

适用范围

本程序及适用于半导体生产工厂中所安装的供输特殊气体用之配管工作。

气体管路的种类

凡一般气体除外之半导体制程气体，皆为特殊气体。

所需完成的工作范围

特殊气体管路

在这里所定义的管线涵盖范围由各种不同特殊气体的供给设备（气瓶柜）至连接各生产机台设备的气体管线为止。

氮气管路线

管线由氮气次主管的主要支阀开始，至每一支气瓶柜氮气入口（抽真空用及冲吹盘面管路用）为止。

管线由氮气主管的主要支阀开始，至某些特殊二次盘面氮气入口止。

废气及排气管路

废气管线

整条管线由生产设备机台的废气口开始一直连接到排放废气的设备入口为止。

排气管线

整条管线由排气出口开始一直连接到气体房内各气瓶柜及各VMB废气排放管为止。

工作完成之标准

管路架设

基本上特殊气体管是沿着建筑物及无尘洁净室的内墙架设的，因此在室内可以清楚目视检查。

有毒的特殊气体管线是架设在整排支架上。

二次盘面的安装

在连接生产机台设备之特殊气体管路的上游部份，需配有二次盘面，其上配有气体开关阀组、气体过滤器及调压阀等。

管线材料

SUS304、SUS316、SUS316L、HastelloyC-22

焊接工作

两条管线的尾端对焊(I-Butt焊接)，主要是利用自动焊接机来完成。

气体管线材料的处理

管线与零件的清洁——所有的管子与其零件须于制造后予以清洗并以管帽盖住开口处、封装，始可运送至现场。任何管子与零件在弯管、切割及焊接诸如此类工作之进行前，须确定其清洁度可维持的情况下始可拆封。

氩气或氮气冲刷

在装配好个别的预作管线且摆放好后，每一单位均需以经0.01/μm过滤器之氩气或氮气冲刷干净。

配管完成后的检查

外观目检——参见6—1“外观的目检工作”。

焊接点目检——参见6—2“焊接点的目检工作”。

锁入配件目检——参见6—3“锁入配件的目检工作”。

暂压检验——参见6—4“暂压测试”。

保压检验——参见6—5“保压测试”。

氦气侦漏检验——参见6—7“氦气侦漏测试”。

微尘测试

纯度测试

腐蚀保护

焊道的部份其外表需用电解方法擦亮之。

强制性穿戴手套

在进行每一个操作时必须穿上干净胶质手套，严禁使用裸手操作。

使用弯管器弯管

对EP管的弯管必定使用弯管器，以确保其可弯区的程度。

排气管

装设在天花板之上的隐蔽部份者需确保其支撑程度合乎安全标准。

需做侦漏测试。

工作进行之步骤

材料检查

材料一经递送到施工单位则必须立即就订单规格来检验是否合格。

抽验这些材料的真圆度、抛光等级、端面平整度、内表面有无刮痕斑点等等，决定是否验收此批材料。

临时性洁净棚

临时性洁净棚装设在现场。

管路工作中，所有的预作管线部份均需在此临时洁净棚内进行，因其有控制其微尘数。

管路材料别需储藏于库房中，以避免规格有异变。

管线支架的装设

支架的材质需为不锈钢或铝制品，且藉由装配在天花板、墙缘、梁柱及设施等之上可固定管线。

支架的摆设位置需依现场实际状况予以量测并架配之。

配管时需考虑管线工作处、气体种类、维修空间预留及配设之美观程度等

管线之间的架设间距至少南20mm以上。

螺钉与螺帽基本为不锈钢制品。

现场焊接工作预防注意事项

临时性架设的焊机其放置的平台上应铺有塑料帆布垫。

焊机使用的电路需事先在整体用电上设计好，在电压平稳足够的条件下供应焊机用电。

管线材料不可直接放在地板上，需排放在塑，胶帆布垫上。

机械材料

在开始进行工作前，需将所使用的工具以干净布沾异丙醇（lPA）擦拭，以除去油份，保持工具的清洁。

每一管线于切割时必定使用切管器，且要避免小碎片进入管中。

使用end-machingunit来处理往直角方向切割的管子，在此一状况下，必须小心不可有小碎片进入管中。

使用弯管器弯管；尤其对EP管的弯管必定使用弯管器，可确保其可弯曲的程度且不破坏内部之粗糙洁净度，弯管处之曲率半径必须大于5倍管径(O.D)。

排气管的配管

制作尾端排气管部份需预留一段长度，以供侦漏测试时旋入盲栓用。

在侦漏测试结束后，再将排气管连接到排气道中并固定之。

切割完毕后的清洗

每一段切割至所需长度的管子最后均需经0.01μm过滤器之氩气喷洗之，以避免残留的小碎片留在内部。，喷洗完后立刻以帽盖覆在雨端开口，并以塑胶套膜包装好储存直到需要安装这些管线前再拆封。

焊接工作

使用自动焊接机对焊，不需点焊。

焊道的外观氧化部份需擦亮。

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