8第八讲薄膜材料物理第三章金属薄膜的导电.ppt

第三章金属薄膜的导电（续）第八讲;电阻的温度系数约等于薄膜电阻率的温度系数：;由于薄膜中的晶界、杂质和缺陷密度远大于块状材

料，所以薄膜电阻率大于块材的，但薄膜电阻率的温

度系数却小于块材的。;其中：;因为;根据电阻率与电导率两者温度系数的关系：;可见：;其厚度应变为：;在纵向拉力作用下，薄膜的体积应变为：;若薄膜在垂直电流方向受到一拉力时，

电阻应变系数为：;假若将;结论：连续薄膜的电阻应变系数远小于岛状薄膜，

对精密电阻，电阻应变系数非常重要。;第四章薄膜的表面和界面

在研究薄膜中，表面：固体和气体或真空的分界面

界面:固体和固体的分界面

几何表面：表面的几何分界面。

物理表面：一个电子结构不同于内部的表面区域

由于具体的材料不同，表面区的厚度有很大的差异;

§4.1表面双电层的表面势

(1)金属表面的双电层和表面势

晶体中原子排列的三维周期性在表面处突然中断，

表面层中的原子可能发生

重新排列→能量↓（表面能）;金属中自由电子密度很高→屏蔽→金属表面处的电势

分布近于一个单原子层如图。;硅晶格在表面处突然终止，表面处硅原子有一个

未成键的电子,即有一个未被饱和的建—称为悬挂键

电子在悬挂键上的能态——表面态，处在禁带中，

起电子陷阱作用.;若表面态能级在导带底附近→施主型

若表面态能级在价带顶附近→受主型