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基于磁力传动密封的高速往复式电动探针系统及驱动方法.pdfVIP

基于磁力传动密封的高速往复式电动探针系统及驱动方法.pdf

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    基于磁力传动密封的高速往复式电动探针系统及驱动方法，涉及等离子体诊断技术领域。为解决现有技术中存在的，现有的往复式快动探针系统中，气缸虽然可以通过进气量与负载的大小对于探针的位移距离进行大致的标定，但是在这种情况下气动探针的空间分辨率不能做到很高，而波纹管会导致探针杆不必要的长度增加，由相似三角形效应导致误差放大，测量精度降低的技术问题，本发明提供的技术方案为：基于磁力传动密封的高速往复式电动探针系统，系统包括：筒型真空舱室和探针系统，探针系统中探针的轴线与真空舱室轴线平行设置；探针系统与真空舱

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117890638A

    (43)申请公布日2024.04.16

    (21)申请号202311802902.2

    (22)申请日2023.12.26

    (71)申请人哈尔滨工业大学

    地址15000

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