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一种蒸镀机构.pdfVIP

一种蒸镀机构.pdf

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    本发明提供一种蒸镀机构，包括坩埚和防尘装置，坩埚置于所述防尘装置上方，坩埚内部用于填充蒸镀材料，坩埚外壁包覆设置有加热装置，坩埚中部设置有多孔分散板，坩埚上部侧壁设置有供蒸镀材料蒸汽喷出的喷嘴，喷嘴与坩埚内部连通，所述喷嘴倾斜向下指向在防尘装置下方一侧的基板放置平台，基板放置平台的底面为平面，基板放置平台用于由上往下依次放置掩膜板和待蒸镀的基板。本方案采用基板在下，蒸镀机构在上的蒸镀方式，通过基板放置平台对基板整体支撑避免基板产生弯曲，从而避免弯曲对基板厚度和尺寸的限制；同时通过防尘装置可以有效

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN110819940A

    (43)申请公布日

    2020.02.21

    (21)申请号20191

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