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本实用新型提供一种射频信号检测装置以及半导体工艺设备;其包括:采集模块,其输入端与半导体工艺设备的静电卡盘连接,用于采集射频信号,射频信号包括不同频率的第一射频信号和第二射频信号;分频模块,包括并联的第一滤波电路和第二滤波电路,第一滤波电路和第二滤波电路的输入端均与采集模块的输出端连接;第一滤波电路用于过滤掉第二射频信号,并使第一射频信号通过;第二滤波电路用于过滤掉第一射频信号,并使第二射频信号通过;分析模块,分别与第一滤波电路和第二滤波电路的输出端连接,用于分析第一射频信号和第二射频信号,并获
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220795348U
(45)授权公告日2024.04.16
(21)申请号202322051887.4
(22)申请日2023.08.01
(73)专利权人北京北方华创微电子装备有限公
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