1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

真空晶圆盒.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约1.16万字
  • 约 13页
  • 2024-04-17 发布于四川
  • 举报

真空晶圆盒.pdf

    本申请提供一种真空晶圆盒，包括密闭盒体及真空发生单元；所述密闭盒体具有位于顶部的第一连通孔；所述真空发生单元设置于所述密闭盒体的顶部，连通于所述第一连通孔，被配置成对所述密闭盒体的内部抽真空。由于在密闭盒体的顶部上设置有真空发生单元，在真空发生单元对密闭盒体的内部进行抽真空的过程中，密闭盒体内部的微粒随着气流被带出密闭盒体，使密闭盒体内部的微粒被移除，从而避免或减少微粒沉降、附着到晶圆产品表面。此外，在真空发生单元、密闭盒体、侧盖及密封件的相互配合下，实现了密闭盒体的内部能够始终保持真空状态。

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220796677U

    (45)授权公告日2024.04.16

    (21)申请号202321634818.X

    (22)申请日2023.06.26

    (73)专利权人日月光半导体制造股份有限公司

    地

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >