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ICS29.045
H83
团体标准
T/CNIAXXXX-XXXX
蓝宝石晶体生长用氧化锆纤维屏
Zirconiafiberscreenforsapphirecrystalgrowth
(讨论稿)
XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施
中国有色金属工业协会发布
中国有色金属学会
T/XXXXXXXX—XXXX
前??言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
本文件由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)提出并归口。
本文件起草单位:南京理工宇龙新材料科技股份有限公司、通辽精工蓝宝石有限公司、天通银厦新材料有限公司。
文件主要起草人:
I
T/XXXXXXXX—XXXX
蓝宝石晶体生长用氧化锆纤维屏
范围
本文件规定了蓝宝石晶体生长隔热用氧化锆纤维屏的分类与标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容。
本文件适用于以Y2O3为稳定剂,氧化锆纤维晶型为四方相或全稳定立方相,其中氧化锆纤维为实心纤维或空心纤维,经制备短纤维棉浆、真空吸滤成型和高温烧结工艺制备而成的氧化锆纤维屏,作为超高温隔热保温材料应用于蓝宝石晶体长晶炉、超高温电炉、工业微波炉、激光晶体生长炉和感应加热炉等领域以及航空航天军工领域的氧化锆纤维屏(以下简称产品),特殊要求按合同执行。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件,并鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新标准;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T191包装储运图示标志
GB/T3003-2006?耐火材料?陶瓷纤维及制品
GB/T4984-2007含锆耐火材料化学分析方法
GB/T5486-2008无机硬质绝热制品试验方法
GB/T17911-2006?耐火材料陶瓷纤维制品试验方法
GB/T26563-2011?电熔氧化锆
GB/T14844?半导体材料牌号表示方法
GB/T16400-2003?绝热用硅酸铝棉及其制品
Q/320124YZLF02-2013Y2O3稳定的氧化锆纤维板及异形件制品
3要求
3.1性状
白色固体纤维、白色块状固体。
3.2?分类
3.2.1?氧化锆纤维屏按体积密度的不同分为:
a)?1000kg/cm3(用I表示)
b)?1500kg/cm3(用II表示)
c)?2000kg/cm3(用III表示)。
3.2.2?氧化锆纤维屏按使用温度分为1800型、2000型、2200型。
3.2.3?氧化锆纤维屏按晶相分为四方相型、立方相型。
T/XXXXXXXX—XXXX
3.3?标记
产品型号的标记方式表示如下:
示例:
体积密度为1000kg/m3的产品表示为:YZS-I。
3.4?技术要求
3.4.1?理化指标
产品的理化指标见表1。
表1氧化锆纤维屏的理化指标
型号
YZS-I
YZS-II
YZS-III
体积密度,kg/m3
1000±200
1500±200
2000±200
抗压强度,MPa
4
7
12
加热永久线变化(1600℃×2h)
≤5%
≤2%
≤1%
热导率(1000℃),W/m·K
≤0.1
≤0.13
≤0.16
晶相
四方相
立方相
立方相
外观
白色、硬质、表面平整、无破损
推荐使用温度,℃
1800
2000
2200
化学成分,wt%
ZrO2+Y2O3≥
99.7
?
Y2O3
17±2
?
SiO2≤
0.16
?
K2O≤
0.02
?
Na2O≤
0.04
?
Fe2O3≤
0.01
3.4.2?尺寸偏差
产品的尺寸偏差应符合GB/T3003-2006中5.4的规定,也可由供需双方协商确定
4实验方法
4.1?外形尺寸
产品的外形尺寸按GB/T5486中规定的方法进行,主要采用精度为0.1?mm的钢直尺、钢卷尺、钢直角尺、卡钳测量或采用精度为0.02mm的游标卡尺测量。
4.2?表面质量
产品的表面质量靠目视检查和手感的方法进行。
4.3?体积密度
T/XXXXXXXX—XXXX
产品的体积密度按GB/T5486中规定的方法进行。
4.4?抗压强度
产品的抗压强度按
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