一种梁膜结构的梳齿MEMS电容压力传感器.pdfVIP

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2024-04-17 发布于四川
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一种梁膜结构的梳齿MEMS电容压力传感器.pdf

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一种梁膜结合的MEMS电容压力传感器，包括封装盖板、电容结构层以及背腔，其中电容结构层包含感压薄膜、移动梳齿、固定梳齿、移动梳齿连接梁、移动梳齿耦合梁、固定梳齿悬臂梁、凸台和锚点。移动梳齿连接在耦合梁两端通过连接梁和锚点与感压膜片固连，固定梳齿通过固定梳齿悬臂梁连接在膜片边缘，移动梳齿、固定梳齿、移动梳齿连接梁、移动梳齿耦合梁相对于感压薄膜均处于悬空状态，固定梳齿与移动梳齿交错配置。本发明设计的梁膜结构的梳齿MEMS电容压力传感器，通过梳齿垂直非共面移动实现压力检测，梁膜结构提高了梳齿错开的相对

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117889993A

(43)申请公布日2024.04.16

(21)申请号202410031201.1

(22)申请日2024.01.09

(71)申请人山东理工大学

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