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一种离子注入/辐照提高氧化物材料发光性能的方法.pdfVIP

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  • 2024-04-17 发布于四川
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一种离子注入/辐照提高氧化物材料发光性能的方法.pdf

    本发明公开了一种离子注入/辐照提高氧化物材料发光性能的方法。本发明一种离子注入/辐照提高氧化物材料发光性能的方法包括：对氧化物材料先后进行离子注入和离子辐照，其中，所述离子注入步骤中采用多个减能片进行能量梯度控制，所述离子注入/辐照后在氧化物材料内部形成包含纳米缺陷量子点的发光层；所述氧化物材料为氧化铝、氧化镁、氧化锌、二氧化硅或二氧化钛。本发明通过调节减能片的厚度，可在材料中一定深度内按照需要意向随意掺杂，形成分布均匀、发光稳定的新型量子点发光材料，也更适用于各种特殊需求的器件制备。本发明控制

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117894685A

    (43)申请公布日2024.04.16

    (21)申请号202410043060.5H01L33/06(2010.01)

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