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一种利用电极供电吸附的高温静电吸盘.pdfVIP

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  • 2024-04-17 发布于四川
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一种利用电极供电吸附的高温静电吸盘.pdf

    本发明公开一种利用电极供电吸附的高温静电吸盘，包括：电极吸附单元以及依次重叠的陶瓷基板、隔热板和水冷基板，当高温静电吸盘处于工作状态时，陶瓷基板处于真空环境，水冷基板处于标准大气压环境；所述电极吸附单元包括电极组件和引出组件，所述电极组件烧结在陶瓷基板底部，引出组件的上端与电极组件连接，引出组件的下端贯穿隔热板和水冷基板后与标准大气压环境内的电源连接，以实现对电极组件供电，进而实现高温静电吸盘的静电吸附功能。本发明具有结构紧凑、拆装便捷、吸附能力强、可靠性高等优点，既解决了高温静电吸盘吸附电极引

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117894735A

    (43)申请公布日2024.04.16

    (21)申请号202311758486.0

    (22)申请日2023.12.19

    (71)申请人北京烁科中科信电子装备有限公司

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