白光干涉光谱仪的工作原理.pptx

白光干涉光谱仪的工作原理汇报人：2024-01-16

引言白光干涉光谱仪的基本结构白光干涉光谱仪的工作原理白光干涉光谱仪的性能指标白光干涉光谱仪的应用领域白光干涉光谱仪的发展趋势与挑战contents目录

引言01

干涉光谱仪定义干涉光谱仪是一种基于干涉原理测量光波长的仪器，通过测量干涉图样的变化来推算光源的光谱信息。工作原理干涉光谱仪利用分束器将光源发出的光分为两束，分别经过不同的光程后再汇合产生干涉现象。通过测量干涉图样的变化，可以得到光源的光谱信息。干涉光谱仪概述

白光干涉光谱仪采用白光作为光源，具有宽光谱范围的特点，可以测量多种波长的光。宽光谱范围白光干涉光谱仪利用干涉原理进行测量，具有高分辨率的特点，能够准确地测量出光源的光谱信息。高分辨率白光干涉光谱仪采用非接触式测量方式，可以避免对样品造成损伤或污染。非接触式测量白光干涉光谱仪在物理、化学、生物等领域具有广泛的应用，如测量物质的折射率、厚度、表面反射相移等新原理新技术。广泛应用白光干涉光谱仪的特点

白光干涉光谱仪的基本结构02

白光干涉光谱仪采用宽光谱光源，如卤素灯或LED，发出连续的白光。宽光谱光源为确保测量精度，光源需保持稳定，避免光强和光谱分布的波动。光源稳定性光源

将来自光源的光分为两束，一束作为参考光，另一束作为测量光。常用分束器有半透半反镜和光纤分束器等。分束器分束器类型分束功能

测量光和参考光在干涉仪中相遇，产生干涉现象。干涉产生光程差调节干涉仪类型通过改变测量光和参考光的光程差，可实现不同波长的光干涉。常见有Michelson干涉仪、Mach-Zehnder干涉仪等。030201干涉仪

探测器接收干涉后的光信号，将其转换为电信号。光信号检测对电信号进行放大、滤波和数字化处理，以便后续分析。信号处理常用探测器有光电二极管、光电倍增管等。探测器类型探测器

白光干涉光谱仪的工作原理03

相干光波叠加当两束或多束相干光波在空间某一点叠加时，它们的振幅相加，而光强则与振幅的平方成正比。如果光波具有固定的相位差，就会产生明暗相间的干涉条纹。分束与合束在白光干涉光谱仪中，入射光首先被分束器分成两束光，分别照射到参考镜和样品上。然后，这两束光再被合束器合并，形成干涉。干涉现象的产生

光程是指光在介质中传播的距离与介质折射率的乘积。在干涉仪中，由于参考镜和样品表面的反射相移，两束光的光程会有所不同。光程定义当两束光再次合并时，它们的光程差将导致干涉条纹的移动。通过测量干涉条纹的移动量，可以确定光程差的变化，进而得到样品的相关信息。光程差产生光程差的引入

傅里叶变换为了从干涉图中提取光谱信息，需要对干涉图进行傅里叶变换。傅里叶变换可以将时域信号转换为频域信号，从而得到光谱的强度和波长分布。干涉图记录在白光干涉光谱仪中，干涉条纹被探测器记录并转换为电信号。这些信号经过放大和处理后，被计算机采集并显示为干涉图。光谱解析经过傅里叶变换后得到的光谱数据可以进行进一步的分析和处理，如峰值检测、曲线拟合等，以获取样品的详细光谱信息。干涉图的生成与解析

白光干涉光谱仪的性能指标04

分辨率光谱分辨率指光谱仪能够分辨的最小波长间隔，决定了光谱仪对光谱细节的分辨能力。空间分辨率描述光谱仪对样品空间位置的分辨能力，通常与入射光斑大小和光学系统的成像质量有关。

指光谱仪对微弱光信号的探测能力，决定了光谱仪能够测量的最小光强。探测灵敏度描述光谱仪对不同波长的响应程度，即光谱仪对各波长光的探测效率。波长灵敏度灵敏度

光强动态范围指光谱仪能够测量的最大光强与最小光强之比，反映了光谱仪对光强变化的适应能力。波长动态范围描述光谱仪能够测量的波长范围，即光谱仪能够覆盖的光谱区间。动态范围

指光谱仪在长时间使用过程中，光谱测量结果的稳定性和一致性。光谱稳定性描述光谱仪机械结构的稳定性，包括光学元件的位置稳定性和机械部件的耐磨性等。机械稳定性指光谱仪在不同温度环境下的性能稳定性，要求光谱仪能在一定温度范围内正常工作并保持测量结果的准确性。温度稳定性稳定性

白光干涉光谱仪的应用领域05

光学薄膜测量利用白光干涉光谱仪可以实现对光学薄膜厚度的精确测量，具有非接触、无损、高精度等优点。光学薄膜厚度测量通过测量光学薄膜的反射相移，可以推算出薄膜的折射率，为光学设计和制造提供重要参数。光学薄膜折射率测量

VS白光干涉光谱仪可以测量光学表面反射光的相移，从而得到表面的反射系数和相位信息，用于表面形貌和光学性质的表征。光学表面反射光谱分析通过对反射光谱的测量和分析，可以得到光学表面的反射、透射、吸收等光学性质，为光学器件的设计和制造提供依据。表面反射相移测量光学表面反射相移测量

白光干涉光谱仪具有高分辨率和高灵敏度的特点，可以用于微纳结构形貌的测量和表征，如微纳滤膜、微纳电子器件等。通过对微纳结构的白光干涉光谱进行测量