JJG 28-2019平晶行业标准.docxVIP

中华人民共和国国家计量检定规程

JJG28—2019

平晶

VerificationRegulationofOpticalFlats

2019-09-27发布

2020-03-27实施

国家市场监督管理总局发布

JJG28-2019

平晶检定规程

VrificationRegulationofOpticalFlats

JJG28—2019

目录

引言 (Ⅱ)

1范围 (1)

2引用文件 (1)

3概述 (1)

4计量性能要求 (2)

4.1平行度 (2)

4.2工作面平面度 (3)

4.3非工作面的平面度 (4)

4.4稳定性 (4)

5通用技术要求 (4)

5.1外观及表面质量 (4)

5.2外形尺寸 (4)

5.3长平晶十字刻线位置 (6)

5.4两端面夹角 (6)

5.5工作面与圆柱母线的垂直度 (7)

6计量器具控制 (7)

6.1检定项目和主要检定设备 (7)

6.2检定条件 (7)

6.3检定方法 (10)

6.4检定结果处理 (13)

6.5检定周期 (13)

附录A平晶表面疵病的尺寸及数量 (14)

附录B相移式等厚干涉测量法 (16)

附录C等厚干涉测量法 (19)

附录D等倾干涉测量法 (22)

附录E四面互检法检定长平晶数据处理实例 (24)

附录F长平晶自重变形量 (28)

附录G检定证书和检定结果通知书内页格式 (30)

JJG28—2019

I

引言

JJF1001-2011《通用计量术语及定义》、JJF1002-2010《国家计量检定规程编写规则》、JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》共同构成本规程修订工作的基础性系列技术

法规。

本规程与JJG28-2000《平晶》相比，除编辑性修改外，主要技术改进如下：

原LJG28-2000《平晶》检定规程的印刷错误，现更正如下：

原规程P25页文字第3行：

应为：

P12页第1行：应为：

P20附录C第1行第8列：E=(L/Ln)Kns应为：E=(L/Ln)△Kn

310mm长平晶两次周期检定平面度之差从0.020μm放宽为0.030μm。

依据LJG146-2011《量块》,取消了6等量块，改用5等量块(见6.3.2)。

取消了平行平晶平行度在激光平面等厚干涉仪上检定的方法。

增加相移式等厚测量装置的结构概述、测量方法(附录B)等相关内容。

——增加标准平晶Fgs范围内的平面度计算方法(附录C)。

本规程的历次版本发布情况为：

JJG28—2000

《平晶》,

——JJG28—1991

《平面平晶》;

——JJG28—1980

《平面平晶》。

JJG28—2019

1

平晶检定规程

1范围

本规程适用于平晶(包括平面平晶、平行平晶和长平晶)的首次检定、后续检定和使用

中检查。

2引用文件

本规程引用下列文件：

GB/T903—2019无色光学玻璃

JB/T7401-1994平面平晶

JB/T7402-1994平行平晶

ISO14999-4:2015(E)光学和光子学光学元件和光学系统的干涉仪测量-第四章：在IS010110中所明确规定的公差说明和评价(OpticsandphotonicsInterferometricmeasurementofopticalelementsandopticalsystems-Part4:Interpretationand

evaluationoftolerancesspecifiedinIS010110)。

凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规程；凡是不注日期的引用文件，

其最新版本(包括所有的修改单)适用本规程。

3概述

平晶是以光波干涉法测量平面度、直线度、研合性以及平行度的计量器具，包括平面平晶、平行平晶和长平晶。平面平晶按工作面数可分为单工作面平晶和双工作面平晶，其外形示意见图1,按用