有色GB_协会标准-半导体洁净室 空气分子污染物（AMC）掺杂剂B和P测定 电感耦合等离子体质谱法 （讨论稿）.docx

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ICS13.040.30

CCSH80

团体标准

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环境空气洁净室AMC中掺杂剂B和P的测定电感耦合等离子体质谱法

SSemiconductorcleanrooms-Airmolecularcontaminant(AMC)dopantBandPdetermination-Inductivelycoupledplasmamassspectrometry

（讨论稿）

FORMTEXTXXXX-FORMTEXTXX-FORMTEXTXX发布

FORMTEXTXXXX-FORMTEXTXX-FORMTEXTXX实施

发布中国有色金属工业协会

发布

中国有色金属学会???

前??言

本标准按照GB/T1.1-2020给出的规则起草。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。

本标准起草单位：中环领先半导体科技股份有限公司，天津中环半导体股份有限公司、山东有研半导体材料有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、新疆协鑫新能源材料科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新特能源股份有限公司、上海新昇半导体科技有限公司、青海芯测科技有限公司...

本标准主要起草人：李春阳、吴倩、由佰玲、孙燕、张园园、赵娟龙、张锦梅、王春明、邱艳梅、冯天、薛心禄...

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环境空气洁净室AMC中掺杂剂B和P的测定电感耦合等离子体质谱法

范围

本标准规定了测定洁净室空气AMC中掺杂剂B和P的电感耦合等离子体质谱仪测定方法。

本标准适用于洁净室内空气AMC中掺杂剂B和P的测定。

规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB50591-2010洁净室施工及验收规范

GB/T37837四级杆电感耦合等离子体质谱方法通则

SMEIF63半导体加工用超纯水指南

GB/T14264半导体材料术语

GB/T25915.1-2021洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度

GB/T25915.6-2010洁净室及相关受控环境第6部分：词汇

GB/T25915.8-2021洁净室及相关受控环境第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度（ACC）等级

术语和定义

GB/T37837、GB/T14264、GB/T25915.1、GB/T25915.6、GB/T25915.8界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

洁净室

指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害气体、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。亦即是不论外在条件如何变化，其室内均能维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能的特性。

3.2

AMC（空气分子污染物,AirborneMolecularContamination）

即环境中有能力沉降于表面上形成单分子层(Monolayer)薄膜的气态化学污染物质。

原理

使用空气采样泵用纯水作吸收液吸收洁净室空气中的B和P元素，将含有待测元素的吸收液通过电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS）进样系统由载气带入高频等离子体源中，并在高温和惰性气氛中蒸发、解离、原子化和电离。这些离子高速通过双锥接口进入离子透镜后，在电场作用下聚焦成离子束并进入四极杆离子分离系统。离子被提取出并按照其质荷比分离后经离子检测器进行检测。按照质荷比进行定性分析、特定质荷比的检测信号进行定量分析，得出扫描溶液中待测元素的质量浓度。

干扰和消除

a)检测人员的洁净检测能力会影响样品的测试结果，检测人员应经过严格的痕量分析培训并具备一定洁净室工作经验，对于测试过程中各环节可能存在的沾污具有控制技术和能力。

b)电感耦合等离子体质谱仪的调谐，如气压设定、稳定性、零点漂移、灵敏度等均会影响测试结果。

c)所用到的器皿和工具的洁净度会影响测试结果，实验室应具备保证器皿足够清洁的清洗流程和验收程序以减少带来的污染。

d)测试环境和人员操作手法直接影响测试结果，采样过程应尽可能避免触碰采样管路及器皿接口边缘，以防止带入外部沾污。

试剂和材料

a)超纯水：电阻率大于18.0MΩ?c