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本发明的质量分析装置(1)包括：粗抽泵(30)；涡轮分子泵(40)；第一腔室(21)，通过粗抽泵(30)进行排气；第二腔室(22)，位于第一腔室(21)的后段，被导入氢气；第三腔室(23)，位于第二腔室(22)的后段，设置有检测器(82)；排气管(61)，形成从第一腔室(21)朝向粗抽泵(30)的排气气流；及排气管(62)，形成通过涡轮分子泵(40)而从第二腔室(22)及第三腔室(23)朝向排气管(61)的排气气流。质量分析装置(1)将分子量大于氢气的追加气体导入排气管(62)。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117897796A
(43)申请公布日2024.04.16
(21)申请号202280051888.4(74)专利代理机构北京派特恩知识产权代理有
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