（高清版）T 36306-2024 洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制技术要求.pdfVIP

ICS13.040.35

CCSC70

中华人民共和国国家标准

GB/T36306—2024

代替GB/T36306—2018

洁净室及相关受控环境

空气化学污染控制技术要求

Cleanroomandassociatedcontrolledenvironments—

Technicalrequirementsofairchemicalcontaminationcontrol

2024-03-15发布2024-10-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

GB/T36306—2024

目次

前言Ⅲ

引言IV

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4污染源1

5空气化学污染控制2

6检测与监测3

附录A(资料性)洁净室建设材料选用5

附录B(资料性)电子工业洁净室空气化学污染控制系统7

附录C(资料性)微电子工业洁净室空气化学污染物控制数据表9

附录D(资料性)洁净室施工阶段化学物浓度控制措施11

参考文献13

I

GB/T36306—2024

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规

定起草。

》

本文件代替GB/T36306—2018《洁净室及相关受控环境空气化学污染控制指南,与

GB/T36306—2018相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：

a)更改了标准适用范围(见第1章，2018年版的第1章);

b)删除了空气分子污染、环境反应监测法、污染物、气相空气净化装置等术语(见2018年版的

3.1、3.2、3.3、3.4);

c)增加了按化学物浓度划分空气洁净度、释出气体等术语(见3.1、3.3);

d)更改了空气化学污染物的定义(见3.2,2018年版的3.5);

e)更改及增加了污染源来源(见4.1、4.2,2018年版的4.1),删除了分级与分类(见2018年版的

4.2);

f)增加了一般要求、设计、施工及运行维护等空气化学污染控制内容(见5.1、5.2、5.3、5.4),删除

了确定是否污染及情况、控制措施的内容(见2018年版的6.1、6.2);

g)更改标题“检测”为“检测与监测”(见第6章，2018年版的第5章),更改了检测的内容(