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本发明涉及基板检测技术领域，具体公开一种基板的检测设备。基板的检测设备，用于检测基板，包括支架，还包括：暂存载台，设置于所述支架上，用于暂存所述基板；检测机构，包括检测载台，所述检测载台设置于所述支架上，用于所述基板的检测基板；搬运机构，设置于所述支架上，能够将所述基板搬运至所述暂存载台和所述检测载台上。上游设备对基板检测后，搬运机构将需要检测的基板放置于检测机构的检测载台上，将不需要检测的基板放置于暂存载台上，从而使得检测设备既能够接收需要检测的基板，也能够接收不需要检测的基板，且同时在检测设
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN109513622A
(43)申请公布日
2019.03.26
(21)申请号20181
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