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本发明公开了一种基于导电膜的电容位移传感器探头,带有导电膜和填充有导电材料的贯穿孔的圆柱形绝缘基板通过旋进装置和密封环固定于圆筒形金属外壳的一端的环形支撑上;绝缘基板带有导电膜的一面与支撑架接触,接触部分不带有导电膜;密封环位于绝缘基板不带导电膜的一面,旋进装置与密封环接触;导电膜具有开尔芬保护环结构,由绝缘分离的具有同心的表面完整的圆形导电膜和表面完整的环形导电膜组成;导电材料位于贯穿孔中,一端与圆形导电膜连通,另一端作为引脚。本发明提高单电极电容位移传感器电场均匀性;提高导电膜表面与支撑架表
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN109813206A
(43)申请公布日
2019.05.28
(21)申请号20191
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