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ITO靶材项目安全调研评估报告
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ITO靶材项目安全调研评估报告
目录
TOC\h\z22087概论 4
15711一、评价ITO靶材项目概述 4
8111(一)、被评价单位的基本情况 4
13986(二)、ITO靶材行业企业所在地的自然条件 5
27151(三)、企业选址及平面布置 6
4395(四)、生产工艺、装置、储存设施基本情况 8
6433(五)、建筑、公用工程 9
1295(六)、安全管理 10
712(七)、关于事故应急救援预案的审定 11
7744二、ITO靶材项目基本情况 13
16992(一
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